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ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀

  • 更新時(shí)間:2020-10-14
  • 瀏覽次數:2351

ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀
ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試,和精密機械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業(yè)化的設計提供快速,準確的測量方案,并且外形緊湊、性?xún)r(jià)比高,能夠放在生產(chǎn)車(chē)間工作

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產(chǎn)品種類(lèi)非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應用領(lǐng)域電子,交通,冶金,航天,汽車(chē)

ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀

ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試,和精密機械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業(yè)化的設計提供快速,準確的測量方案,并且外形緊湊、性?xún)r(jià)比高,能夠放在生產(chǎn)車(chē)間工作,而不需要振動(dòng)隔離和特殊的隔離裝置。同時(shí)交互式的控制軟件MxTM提供了簡(jiǎn)單而精細的圖形圖像來(lái)幫助你的加工處理。如需獲取更多的信息,了解Zegage系統的能力、功能和價(jià)值請繼續往下看。

關(guān)鍵特點(diǎn)

      • 抗震性能,適合于生產(chǎn)車(chē)間的計量檢測和過(guò)程控制。
      • 所有參數遵照ISO 25178標準,保證計量結果的可性度。
      • 非接觸式計量技術(shù)不會(huì )引起任何待測件的損傷。
      • 計算機控制的4位物鏡轉臺。
      • 基于區域的測量,對待測件如何放置不敏感。
      • 測量無(wú)需任何耗材。

 

生產(chǎn)車(chē)間里,正在使用的ZeGage光學(xué)輪廓儀

生產(chǎn)車(chē)間里,正在使用的ZeGage光學(xué)輪廓儀

系統參數:

原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置: 長(cháng)范圍 Z 軸調節

物鏡: 無(wú)限共軛干涉物鏡:標準工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長(cháng)工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見(jiàn)物鏡參數表

視場(chǎng): 跟所選物鏡有關(guān)

光源: 長(cháng)壽命白光 LED,計算機控制光強

物鏡座: 螺紋物鏡座(標準);

選件: 可快速裝卸單物鏡夾具(可選);電控或手動(dòng) 4 位物鏡塔臺(可選)。

輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

測量陣列: 1024×1024

樣件觀(guān)察: 軟件集成交互式實(shí)時(shí)觀(guān)察

Z 軸: 100mm 行程,主機頭具有兩種可選安裝高度,以?xún)?yōu)化工作距離

樣品臺控制: USB 控制器,人體工程學(xué)設計的拇指控制按鈕,可控制速度和聚焦模式切換

安全性: 系統集成緊急制動(dòng)功能

樣品臺: 手動(dòng),俯仰傾斜±4°; 手動(dòng)X(jué)Y平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

計算機: 高性能DELL計算機, 寬屏1080P LCD,64位,Windows 7系統

軟件: ZeMapsTM

尺寸(HWD): 系統:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機:82x53x53cm

重量: ZeGage 主機:54Kg; 工作臺:37Kg

性能:

縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)

表面形貌重復性:<3nm(根據 ISO/DIS 25178 604 部,附件 D)

光學(xué)分辨率(橫向):0.52um ~9.50um,與所選物鏡有關(guān)

掃描速度: ≤ 23 um/秒

大數據點(diǎn): 1,048,576

臺階測量: 準確度 ≤ 1%; 重復性≤ 0.1% @ 1σ

被測樣品特性:

材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射

反射率:1-100%

環(huán)境要求:

溫度: 15-30℃

溫度變化率: <1.0°C/15分鐘

濕度: 相對濕度 5%-95%,無(wú)凝結

隔振: 不需要

振動(dòng)準則: VC-C 或有更好的推薦

 

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